>> Color Filter廠Scanner Mirror Haze 問題量測

在2009年8月017期電子報中，我們於其他訊息有介紹有關協助某CF廠進行其Mirror Haze 量測。

本期電子報中，我們將實際提出具有量化數據意義的內容，以供業界參考。

>> 前言

  前言：

Color Filter廠用Scanner，沒有像半導體廠用Scanner的線寬那麼小；因此，也沒有那樣精密。

但是，其光學運作模式，其實是相同的。它們都是把較高能量的光源關在一個密閉的空間裏。這樣的特性正是導致產生Haze的主因。

本期擬介紹我們如何進行分析及相關數據資料，以供業界參考。

 

>> 方法

方法

整個採樣過程可以分成二個部份：

一個是環境，另一個是在Mirror上的採樣。

本次採樣僅針對無機性離子及MEA進行分析。在環境空氣部份，我們使用impinger方法。而Mirror上的採樣則使用無塵布的擦拭及萃取溶出分析。

 

>> 分析結果

  分析結果

分析結果如下附表所示。

>> 討論

  討論

從分析結果顯示，雖然以impinger法所採得的SO₄^2-濃度不高，但是在Mirror上的沉積量卻佔有一定份量。顯然，硫化物似乎很容易沉積在Mirror上，或者空氣中另外有非impinger所能採集到的硫化物。這一部份，就必須搭配整體製程來檢討。

此外，上表的數據，若能把時間因素考慮進來則可以表達成為μg/cm² hr，此數據在做benchmarking時會更具有效益。

 

>> 結論

結論

在相同採樣方法的基礎上，我們可以建立一套判斷累積速率，環境濃度關係，如此benchmarking資料，將可以更有助於協助業主在這方面問題的防治。