>> AMC分析软件开发与应用
在AMC (Airborne Molecular Contamination,以下简称AMC) 控制中，预测无尘室内的浓度，对化学过滤网的应用一直是一个十分重要的环节。
尤其当化学过滤网一旦装上去之后，其上游浓度就不再是原来那样大，因此，我们必须一并考虑化学过滤网的效应，才能有效地定义化学过滤网上游的浓度及合理的验收标准。
本期电子报，我们将介绍亚翔独自开发撰写的C++程序，以供大家参考。
>> 前言
前言
该软件的开发，主要是着眼于同时处理photo生产区及maskroom中reticle储放区的AMC问题处理。
在一般应用里，常常把maskroom放在photo区里，有maskroom一同伴随photo区回风的型式，也有maskroom本身独立回风的型式，但不论如何，我们都必须能同时评估两个同空间的交互作用。
这是开发该软件的原因。
我们利用简易的mass conservation law及control volume概念，先推导出方程式，再将其以矩阵(matrix)型式表达，并求解矩阵的解。
>> 分析模型
分析模型
如下图所示，在一无尘室有一个独立隔间，与其有相同的回风。
>> 质量守恒及控制体积法
质量守恒及控制体积法
如上图的控制体积 (control volume) 的划分，我们可以推导如下的方程式
而上述的方程式，可以再表示为矩阵如下：
>> 应用
应用
1. 分析软件根据另外独立小房间的空调型式，可以再分成多种不同型式，如下图根据maskroom的不同形式，可以再细分如下图所示 ：
2. 本软件的大房间内有一小房间模式，其实也可以把该小房间视为某一机台来看，或是无尘室内某一区域。
3. 本软件可以提供无尘室不同FFU coverage的设计之用。
>> 结论
结论
亚翔已成功开发AMC的预测应用软件，并已实际应用于多个工程案件中，同时亦有与其它化学过滤网供货商实际比对的经验。
相信，我们必能够在AMC控制服务领域上提供更佳的服务 。