>> 混成技術於AMC之應用
AMC 之問題，就半導體廠，尤其是十二吋廠，可說是不可缺少的一個環節，雖然它可能只佔整個無塵室工程款2~3% 左右!! 但它卻左右未來整個無塵室對製程良率之整體效能。尤見其重要性!
所謂混成 ( Hybrid ) 者，意指將完全不同應用領域之技術，予以結合，應用於某一問題或需求上。
本期主題擬介紹我們如何將過去七年來建構之各種不同技術，予以混合應用於AMC之控制，以提供業界應用之參考。
對AMC之控制，我們之基本概念與做法如下圖，它必須結合多種不同技術層面之應用。
亞翔研發中心在過去七年中，累積了相關技術能量，因此，在本專案中，我們依序展開整個過程之需求，結合不同技術領域以達成需求之目的。
本專案之標的，我們希望透過有系統之方式，以比較合理之方式定義無塵室化學過濾網之設計與規範需求。
>> 空氣採樣
這是有效了解各個不同工地，該區域特性之重要指標，我們使用 ADS及Tenax-GR作為無機物及有機物之空氣採樣方法。
>> 廠區氣流模擬
利用CFD之技術，可以協助我們在不需作實驗之前提下，以最有效率之
方式，明白整體污染狀況之分佈；我們就利用此一特性觀察不同風向下之氣流及濃度場狀況，了解製程排氣對外氣吸入口之可能影響性；此中之Scrubber煙囪排氣濃度，則是依過去之量測資料庫之實廠數值設定之。
>> HVAC系統與化學過濾網安裝最佳化
利用程式語言、Borland C++，我們開發一two room model之簡易程式，協助我們做不同HVAC系統下之無塵室濃度及化學過濾網覆蓋率之計算分析，此中，
(1) 外氣濃度是來自上述第1、2項(空氣採樣及廠區氣流模擬)之合併考量值。
(2) 室內污染物之產生量，則是來自過去累積之資料庫值。
局部隔離法
過濾網直接裝置於Mask Room FFU上方 ，供氣由Truss及OA風管分別供應之
全隔離法
將Mask Room完全隔離再將化學過濾網裝置於Mask Room FFU上方並自Truss補充外氣
部份外氣稀釋法
將Mask Room完全隔離再將化學過濾網裝置於Mask Room FFU上方並另配一支OA風管補充外氣
全外氣稀釋法
僅將Mask Room Truss完全隔離再將化學過濾網裝置於Mask Room FFU上方並完全由OA風管供應FFU需求風量
>> 技術關連圖
本專案之執行，其技術關連圖如下:
>> 結論
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經由本次專案經驗告訴我們，透過不同技術之結合應用，事實上，可以協助我們做更寬廣之應用。
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