>> FFU评估选用与无尘室噪音预测分析

噪音对许多非噪音防治出身的人而言，似乎有如谜一样。

而一般 FFU 的供货商又往往只提供距 FFU 1.5m 处的声压值，到底我们该如何做才能提供一个有效的评估方法呢？

本期将介绍亚翔过去在工程执行中所做过的验证，并于后续应用于FFU选用评估的案例中，以供业界参考。

>> 前言

前言

把一群风车放到头顶上，又要求控制室内噪音，确实是一件不容易的事。

在半导体制程迈入65nm的纪元，在ULPA Filter都已采用 PTFE / Low boron滤网了，如果还在FFU内加装消音衬垫，似乎是一件很矛盾的事，可是不加消音衬垫，要如何确保噪音？

我们要如何评估它？

 

>> 噪音计算

噪音计算

首先，我们要先弄清楚，要如何计算在无尘室内的噪音，特别是有一群FFU(风车)被装在天花板上，其基本程序如下图所示

上述步骤中，直接 / 回响噪音的计算都很简单，最困难的是声功率，很多FFU厂商都不提供。

>> 验证一

验证一

很庆幸，亚翔在过去某个工程中，有厂商愿意提供，同时也有测量的方式。我们取得了声功率，就可以计算室内噪音，并和完工的测量结果进行比较，如下图，我们发现高频部份预测良好，但低频部份并不如预期。

>> 验证二

验证二

在接下来的机会中，我们又有机会在FFU供货商处，根据所知的测量方式量取并换算声功率，将结果与1.5m处的声压比较，如下图，此时低频部预测良好，但高频部份是高估。

但是，累积一些数据(目前有9笔、4种厂牌FFU)，我们就可以从1.5m处的声压及声功率之间，找出修正的相关性，并且取得mean+1σ / mean /mean-1σ的修正值，而这些值也可以为我们的评估结果提供一个参考的Range。

>> 应用一

应用一

再以IC厂中100% coverage的maskroom为例，该FFU内部无消音衬垫，而无尘室的噪音规范为NC65，我们可以计算其未来室内的噪音状况，如下图，根据mean+1σ / mean /mean-1σ的概念，我们可以求得如附图NC curve中三条曲线，它将有助于判断在无尘室内使用该FFU时，其最大 / 最小的可能噪音，以及其是否符合规范。

  

>> 应用二

应用二

第2种应用，是反过来思考传统确认噪音的方式是否符合规范，常常使用A加权的dBA做判断，但其却仅仅只是一个总合值。

我们可以使用同样的计算概念，反过来推算距FFU 1.5m下的声压值，这样我们就能够有一个明确的方向，要求FFU制造商如何去满足噪音需求，而不是仅仅是一个值。

因为单一的值dBA未必与NC特性相符，不是吗？

>> 结论

结论

我们初步取得了相同理论与实测的验证。

确实您可以说才9笔数据，实在太少了！！其实我们也是如此认为，但至少我们开始了，我们可以不断从工程经验中累积，修正我们的数据内容。

 

>> 致谢

致谢

这些声功率 / 声压数据的收集全有赖于FFU供货商耐着性子陪我们测试才有的。

我们感谢他们提供他们的无响室供我们进行我们的测试，

他们分别为：

苏州日立公司

苏州AAF公司

日本富士机电

日立产机系统

感谢他们的支持 !!