>> 高科技廠房微振動設計基本構思與方向

 

微振動考量，一直是高科技廠所考量重點之一。

亞翔雖然沒有直接從事微振動設計，但卻也間接觀摩各廠針對微振動考量，如何滿足製程需求。

本期電子報，擬從過去工程經驗之彙整中，揉合其他無塵室之運作項目考量，整理出我們的建議與看法，以供業界參考。

 

>> 前言

前言

傳統微振動設計，似乎都只從單純的結構與微振等級需求去思考。

不過在過去實際運作經驗中，我們往往發現，似乎不是如此單純。

特別是伴隨TFT世代面板變大，無塵室面積尺寸日益加大之情況下，不同微振防治系統方向與整體無塵室氣流有著某種相互影響之關係存在。

我們將融合另類觀點來看微振動防制設計之方向與構思，以供業界參考。 

 

>> 微振設計基本考量

  微振設計基本考量

微振設計之基本考量，最簡單地看就是樓板 (slab)厚度，主要和垂直方向之微振動有關；而水平方向之微振動，則是由支撐樓板柱子多寡、安排與高度有關。（當然，垂直方向也和柱子多寡與安排有關）。

從以上角度看，柱子做的愈多，高度愈矮愈佳。

>> 其他考量

其他考量

可是一個順利的產線運作，卻不單單只有微振動一項考量。

伴隨著TFT世代進步，回風長度也愈來愈長。如果回風層高度不能有適當安排，其實對上方生產區域的潔淨室是會造成氣流偏移問題的。如果我們要再把安置於回風層的風管群一併考慮進來，此時，過低的回風層高度要造成回風層氣流往潔淨室灌入的情形，不是不可能的。

氣流偏移的後果是什麼；也是產品良率的問題。

此時回風層高度的考量與微振動設計要求是相反的。

另外一項考量是成本。可以想見的，愈矮的回風層，愈薄的slab厚度其建造成本愈低，但這些似乎又與微振動的等級需求有關。

 

>> 彙整

彙整

我們把上述概念，用如下的矩陣表達，以廠房結構為基準，從不同角度看廠房結構設計，包括微振動。

微振動防治型式總覽

>> 結論

結論

我們只想表達一個概念，就是微振動不應該能被孤立地考量，其實，它也與潔淨室內其他操作因子有關。

我們只是嘗試把相關必需考慮因子納入，若尚有遺漏之處，尚祈指正。