>> 高科技厂房微振动设计基本构思与方向

 

微振动一直是高科技厂所考虑重点之一。

亚翔虽然没有直接从事微振动设计，但却也间接了解了各厂如何考虑微振动，使其满足制程需求。

本期电子报，拟从过去工程经验的汇总中，结合其它无尘室的运作项目，整理出我们的建议与看法，以供业界参考。

 

>> 前言

前言

传统微振动设计，似乎都只从单纯的结构与微振等级需求去思考。

不过在过去实际运作经验中，我们往往发现似乎不是如此单纯。

特别是伴随TFT世代面板变大，无尘室面积日益加大的情况下，不同微振防治系统方向与整体无尘室气流存在着某种相互影响的关系。

我们将结合另类观点来看微振动防治设计的方向与构思，以供业界参考。

 

 

>> 微振设计基本考虑

微振设计基本考虑

微振设计考虑的基本方面，最简单地就是楼板(slab)厚度，主要和垂直方向的微振动有关；而水平方向的微振动，则是和支撑楼板柱子多少、安排与高度有关。（当然，垂直方向也和柱子多少与安排有关）。

从以上角度看，柱子做的越多，高度越矮越佳。

 

 

>> 其它考虑

其它考虑

可是一个顺利的生产线的运作，却不单单只考虑微振动这一项。

伴随着TFT世代进步，回风长度也愈来愈长。如果回风层高度不能有适当安排，其实对上方生产区域的洁净室是会造成气流偏移问题的。如果我们要再把安置于回风层的风管群一并考虑进来，此时，过低的回风层高度会造成回风层气流往洁净室灌入的情形，这不是不可能的。

气流偏移的后果是什么；也是产品良率的问题。

此时考虑回风层的高度与微振动设计的要求是相反的。

另外一项考虑是成本。可以想见的，愈矮的回风层，愈薄的slab厚度其建造成本愈低，但这些似乎又与微振动的等级需求有关。

 

 

>> 汇整

汇整

我们把上述概念，用如下的矩阵表达，以厂房结构为基准，从不同角度看厂房结构设计，包括微振动。

微振动防治型式总览

 

>> 结论

结论

我们只想表达一个概念，就是不应该孤立地考虑微振动，其实，它也与洁净室内的其它操作因子有关。

我们只是尝试把相关必需考虑因子纳入，若尚有遗漏之处，祈望指正。