>> 外界噪音评估应用于半导体厂排气系统对周遭居民影响分析

如果您准备要盖的厂房紧临居民，但考虑到外气与排气的交叉污染，又不得不把排气系统靠近居民，此时，您要如何预测未来这些噪音对附近居民的影响？

本期，我们将以一个过去所执行的实际案例做说明，以提供大家参考。

 

>> 前言

  前言

在过去我们建厂经验中，实际经历了已建完一个厂后，又在该厂附近新建另外一个厂。由于前一个厂的排气风车的噪音经验，让我们意识到噪音的重要性。

本案例将介绍我们如何透过理论计算，评估当两个厂的排气风车同时开启运转时，对附近居民的潜在影响性。

>> 状况说明

  状况说明

本案例如下图，斜线部份为完成建厂，并开始运转的厂，右边白色部份为未来新建厂。在右上方有一群聚居民与其相近。

该地区正是我们对噪音影响所关注的地方。

>> 计算基本假设

  计算基本假设

为了评估其影响性，我们做如下假设：

1. 忽略室外空气温度梯度对噪音的可能影响。

2. 无风状态，所以建物G栋可以发挥最佳的噪音阻隔效果。

3. 排气风车区隔音墙为5mm厚铝质，50%开孔率孔板。

4. 排气风车相对于整体尺寸，我们视其为点音源。

5. 排气风车以原厂提供的声功率为主。

6. 忽略烟囱出口的噪音效应

7. 风车假设为全载运转，同时开启的状况如下图(图中的圆点代表风车位置)

8. 六个假设的接收点位置(150m、200m及250mm) 如下图所示。

>> 计算程序与考虑

  计算程序与考虑

整个计算以声功率为噪音的发生源，透过以下考虑进行噪音运算：

1. 风车的风方向性 (Directivity)

2. 铝质隔音墙效应

3. 建筑物对噪音的阻隔效应

4. 距离递减效应

其中，距离效应为平方反比关系，而directivity则与音源面积及相对于接收者的角度有关。

就建筑物的阻隔效应而言，FAB1所对应的建筑物F，由于高度较低，因此，其阻隔效应，基本上可以忽略，如下图。

虽然建筑物较矮，但是，在水平方向建筑物C栋仍扮演些许的阻隔效应，如下图

反观建筑物G，对应于FAB2的阻隔效应就相对明显，如下图所示。 

>> 計算結果

   計算結果

将整体计算结果，用Sound level的总和值，表达如下图

，6个接收点位置的1/1 octave band，如下图所示。 

 

>> 现场量测验证

  现场量测验证

在FAB2尚未兴建前，我们以FAB1做实厂测量，以验证计算结果的可应用性。其测量点如下图。以点位4、点位5为例，其计算与测量结果的差异如下图。

 

我们可以发觉，本案所使用的计算方式，在低频部份，还算接近，但在高频部份则高估。

不过高估对未来判断上是如同一个安全系数。

 

>> 结论

结论

基于工程问题的需要，我们尝试以工程分析手法，针对外界噪音提出计算评估方法，并与实际测量比较。在未来的工程上，提供客户另类多元化的服务。