>> 無塵室製程環境氨氣控制案例介紹
在先進製程裡，特別是黃光區，氨氣濃度之控制一直扮演重要之角色，特別是氨氣對黃光區 track 機台之 T-topping 效應及 scanner 之 Lens 及 reticle 之 haze 問題，此將對製程良率造成影響，此如下圖所示。
而伴隨製成線徑不斷微小化，AMC ( airborne molecular contamination)愈形重要。即使是八吋廠也將因為其線寬之縮小，而遭受到隱形殺手之威脅。
本期電子報我們將介紹一個製程環境氨氣控制之案例，我們將從業主需求、規劃、設計到驗證，逐一做說明，以供業界參考。
>> 設計/ 規劃
設計/規劃
依業主要求，我們依下列規範進行設計
1. 外氣空氣中氨濃度5ppb左右
2. 回風道氨氣濃度約13~15ppb左右
依據業主所提供之規範及既有之資料庫訊息，我們依－氨氣產生率之質量守恆式，以業主擬保護之scanner機台為對象，用two room model (如下圖) 建構分析模式，得到結果如下圖所示。
現場共有8只FFU，我們採用artemis control AG之APF-P-B濾網，如下圖所示，
其最終之室內濃度可在業主要求之10ppb以下，而其使用壽命則如下圖所示。
>> 施工
施工
在施作過程中，因為要保護之機台很明確，因此加入相關導流裝置，同時高架地板亦做調整。
>> 驗收
驗收
完工後，我們檢測施作前後之無塵室內氨氣產生量，如下圖所示，雖然達到10ppb以下之要求，但卻與原先規劃之有差距。
>> 檢討
檢討
我們檢討預測與實際之差異，應是原先所預測之氨氣產生率略低所致。由於本案之業主需求很緊急，因此，並未做事先之採樣量測。這是預測偏低原因之一。
因此，重新調整氨氣產生率之預測，修改使用壽命則如下圖所示。
>> 結論
結論
目前本案已運轉逾九個月，業主反應良好，該獨立區域持續維持在10ppb以下，推估當可滿足當初推斷之450天。
透過本次成功之案例，我們也認知到氨氣產生率較合理用法；對於日後類似問題之應用，具有正面助益。