>> FFU評估選用與無塵室噪音預測分析
噪音對許多非噪音防治出身的人而言，似乎有如謎樣一般。
而一般 FFU 供應商，又往往只提供距 FFU 1.5m 處之聲壓值，到底我們該如何做才能提供一個有效的評估方法？
本期將介紹亞翔過去在工程執行中所做過之驗證，並於後續應用於FFU選用評估之案例，以供業界之參考。
>> 前言
前言
把一群風車放到頭頂上，又要求室內噪音，確實是一件不容易的事。
在半導體製程邁入65nm之紀元，在ULPA Filter都已採用 PTFE / Low boron濾網了，如果還在FFU內加裝消音襯墊，似乎是一件很矛盾的事，可是不加消音襯墊，要如何確保噪音？
我們要如何評估它？
>> 噪音計算
噪音計算
首先，我們要先弄清楚，在無塵室內之噪音，要如何計算，特別是有一群FFU(風車)被裝在天花板上，其基本程序如下圖所示
上述步驟中，直接 / 回響噪音之計算都很簡單，最困難的是聲功率，很多FFU廠商都不提供。
>> 驗證一
驗證一
很慶幸，亞翔在過去某一工程案中，有廠商願意提供，同時也有量測方式，我們取得聲功率，因此，也就可以計算室內噪音，並和完工之量測結果進行比較，如下圖，我們發現高頻部份預測良好，但低頻部份並不如預期。
>> 驗證二
驗證二
在接下來的機會中，我們又有機會在FFU供應商處，依所知之量測方式，量取並換算聲功率，其結果與1.5m處之聲壓之比較，如下圖，此時低頻部預測良好，但高頻部份是高估。
但是，累積些數據(目前有9筆、4種廠牌FFU)，我們就可以從1.5m處之聲壓及聲功率間，找出修正之相關性，並且取得mean+1σ / mean /mean-1σ之修正值，而這些值，也可以提供我們評估結果，有一個參考Range。
>> 應用一
應用一
茲再以IC廠中100% coverage之maskroom為例，該FFU內部無消音襯墊，而無塵室之噪音規範為NC65，我們可以計算其未來室內之噪音狀況如下圖，依mean+1σ / mean /mean-1σ之概念，我們可以求得如下圖NC curve中三條曲線，它將有助於判斷該FFU於使用於無塵室時，其最大 / 最小之可能噪音，及其符合規範之可能性。
>> 應用二
應用二
第2種應用，是反過來思考傳統確認噪音是否符合規範，常長使用A加權之dBA做判斷，而僅僅只是一個總合值。
我們可以使用同樣之計算概念，反過來推算距FFU 1.5m下之聲壓值，如此，我們就能夠有一個明確方向，要求FFU製造商如何去滿足噪音需求，而不是僅僅一個值。
因為單一值之dBA未必與NC特性相符，不是嗎？
>> 結論
結論
我們初步取得相同理論與實測之驗證，確實您可以說才9筆數據，實在太少了！！
其實我們也是如此認為，但至少我們開始了，我們可以不斷從工程經驗中累積，修正我們的資料數據內容。
>> 誌謝
誌謝
這些聲功率 / 聲壓數據之收集全賴FFU供應商耐著性子陪我們測試才有的。
我們感謝他們提供他們的無響室，供我們進行我們的測試，
他們分別為：
蘇州日立公司
蘇州AAF公司
日本富士機電
日立產機系統
感謝他們的支持 !!