>> 以製程流程整合環境分析數據與產品不良之AMC處理手法概念介紹
AMC控制的目的，首在解決良率之不良問題。
而環境分析則是用以輔助協助斷定 AMC之處理對象及手法。
就一個完整的解析/判斷而言，上述做法是否足夠。
(一般習知的做法，大致上也是如此)？
本期我們將介紹另一種手法，我們將以製程流程為首，整合環境分析之檢測資料及產品之不良現象，以協助問題之解析，並提供業界另一種參考方式。
>> 序言
序言：
AMC問題的出現，其實是發生在產品上，而且脫離不了製程本身。事實上，往往與製程之前後關連性有關。
本期將介紹我們過去所處理過之案例，我們不是把重點放在不良本身，而是擬介紹一種環境分析數據之手法。
由於環境分析往往包含有機與無機，特別是有機，其物種繁多，如果沒有一個好的方式，可能很難判定可能的物種與原因。
因此，我們將介紹一種手法，結合資料庫比對，並整合製程本身，提供一種比較容易了解的方式，以供業界參考。
>> 問題
問題：
這個AMC探討的需求，是起源於蝕刻製程出現不良狀況，但往前追溯，似乎是導因於黃光及成膜，而且，從眾多不良數據統計分析來看，似乎環境因素佔絕大多數，因此，有必要針對環境執行全面性調查。
>> 處理手法
處理手法：
1. 與業主製造/良率分析部門開會，釐清問題及位置。
2. 決定空氣採樣位置
3. 執行空氣採樣與分析
4. 數據整理分析
5. 改善方案提議
其實，上述流程實在是再普遍不過了。相信一般做法也大致如此，我們想再多做著墨之處，是數據整理分析。
>> 數據整理之一：從可能原因推斷物種之特性
數據整理之一：從可能原因推斷物種之特性
做過環境分析的，相信都有相同的感受，特別是有機物，東西一大堆，哪個有影響，哪個又無關痛癢？光看了就眼花，因此，有必要提供一個篩選過濾的方法。
請參考下表，我們結合製程流程及原因推斷，並根據原因於不同製程站內發生之現象，判斷該物種之特性，有了此一特性，就可以幫助過濾物種，協助判斷是否具有威脅。
從製程流程檢討污染物之特性
>> 數據整理分析之二：資料庫的應用
數據整理分析之二：資料庫的應用
光有前述之分析，其實還是令人眼花撩亂，因為東西太多。
因此，利用電腦進行比對，特別是過去的資料庫，也就深具意義。
把過去相同製程之環境檢測結果，以資料庫方式整理，並利用電腦比對，將可省下大量時間，此一初步過濾，再搭配前述表列之原因及化學物之特性判定，將有助於初步篩選出可能物種。
>> 數據整理分析之三：不同Defect比對
數據整理分析之三：不同Defect比對
由於該問題，是屬於污染物沉積所致，因此，應不僅僅只是沉積在該製程而已，也應含發生在其他製程中，並可能形成其他Defect問題。
我們利用下表，對應所過濾後之化學物，重新結合製程及可能Defect種類，檢討該化學物之可能性，此時，從其他不良Defect的發生來做綜合判斷，將成為另外一比對依據。
從製程流程檢討無塵室內可能之污染物
>> 數據整理與分析之四：環境濃度與不良區域比對
數據整理與分析之四：環境濃度與不良區域比對
整個污染之過程，以儲放時為主，因此，我們必須再針對，於不同儲放環境及發生不良區域之濃度比對，以達到另外一種觀點，提供不同角度的確認。
>> 結論
結論 :
透過上述之數據分析，我們可能從30~40種物種中，篩選出幾個可能之污染物。
站在更明確之確認要求上，其實，若能執行相同薄膜材之基板沉積實驗，將會更有助於環境分析之比對。
但不論如何，透過本手法，我們提供另外一種 AMC問題解析之方向，希望能夠給予更多啟發與想像空間，這是本期內容之期盼。